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  • 中频电源HQ-MF04040-1P

    中频电源HQ-MF04040-1P,是广泛应用在太阳能电池制造及真空镀膜过程中,等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)镀膜工艺上的特种电源。

    输出为单通道,输出功率可达35kW,可以输出多种电压波形(如方波、阶梯波、双极性脉冲波),满足不同镀膜工艺要求。


产品特点

• 节能环保:采用先进的软开关技术,最高效率可达93%,比传统电源高3%以上;

• 极低电弧能量:自主专利技术的电弧检测和灭弧方法,确保出色的镀膜均匀度和高良率;

• 匹配性强:多种不同电压波形可调,输出电压高达800V,可同时满足新型和传统的镀膜工艺要求;

• 电网谐波污染小:具备主动功率因素校正功能,输入功率因素满载高达0.99,电流谐波小于5%;

• 可扩展:FPGA+DSP+ARM全数字化控制平台,更智能更可靠,轻松匹配客户的定制化需求;

• 高集成,易维护:自主专利技术的水冷设计,标准化结构设计,噪音低,操作简单,维护便捷;

产品参数
参数HQ-MF04030-1HQ-MF04040-1HQ-MF04040-2HQ-MF04060-2HQ-MF04030-1PHQ-MF04040-1PHQ-MF04040-2P
输入电压323Vac~475Vac,三相+地线
输入频率45Hz~64Hz
输出通道数量1122112
每通道输出功率30kW35kW20kW30kW30kW35kW20kW
每通道最高输出电压600V800V
每通道最大输出电流85A87.5A55A85A85A87.5A55A
输出频率40kHz,可调
输出控制模式恒功率、恒压、恒流
开关机控制方式触摸屏、RS485、模拟接口、CAN、EtherCAT
安装尺寸(W*H*D)482*178*700 mm482*267*700 mm482*178*700 mm
工作温度+5℃~+45℃
冷却方式水冷


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